ULVAC爱发科二手叶片式溅射设备CERAUSZX-1000与2011年投入使用，针对于8英寸晶圆使用

ULVAC爱发科多腔溅射设备EntronEXW300是在Al、Cu、高熔点金属布线工序中有很多实绩的单片式多室对应平台

centrotherm卧式热反应系统HORICOO200是大量现场验证及具有多功能的卧式炉系统，基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台

ULVACCS-200系列磁控溅射镀膜设备是一款追求低成本和用户友好操作的磁控溅射设备，通过增加配有机械手d装载固定腔室（Loadlockchamber）使在上...

Load-lock式PlasmaCVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备